Mikro diyafram pompası, her biri bir egzoz memesi barındıran bir giriş ve çıkış nozulu ile donatılmış minyatür bir vakum pompasıdır. Pompanın içindeki mekanik bir mekanizma diyaframı karşılık verir, girişte sürekli bir vakum veya negatif basınç ve egzoz memesinde hafif bir pozitif basınç oluşturur. Çalışma ortamı öncelikle gazdır ve pompa kompakt bir cihazdır. Mikro diyafram pompaları iki modda çalışır. Aşağıda çalışma ilkelerini ayrıntılı olarak açıklamaktadır.
1. Bir mikro elektrik diyafram pompası, güç kaynağı olarak minyatür bir DC motoru (tipik olarak 5V, 12V veya 24V'de çalışır) kullanır. Bu motor, diyaframı karşılık veren bir dahili mekanik eksantrik mekanizmayı tetikler. Bu, sabit - hacim pompası odası içindeki havayı sıkıştırır (sıkıştırıldığında, emme portu kapalıdır ve egzoz portu açıktır, hafif bir pozitif basınç oluşturur) ve gerilir (sıkıştırıldığında egzoz portu kapalıdır ve emme portu açıktır, negatif basınç oluşturur). Bu, vakum pompasının emme portu ile ortam atmosferik basıncı arasında bir basınç farkı yaratır. Bu basınç diferansiyel kuvvetleri pompa odasına girer (emer) ve daha sonra egzoz portundan dışarı çıkar.
2. Mikrodiafrag pompaları, emme ve deşarj sıvıları için vidanın dönüşünü kullanır. Bir mikrodiafrag pompasındaki merkezi vida, ana taşıyıcı tarafından tahrik edilen aktif vidadır. Her iki taraftaki vidalar, aktif vidanın ters yönünde dönen tahrikli vidalardır. Hem aktif hem de tahrikli vidaların iplikleri çift - başlangıçtır. Vidaların iç içe geçmişi ve astarın vidaları ve iç duvarı arasındaki sıkı oturma nedeniyle, mikrodiafrag pompasının emme ve deşarj portları arasında bir veya daha fazla kapalı boşluk oluşturulur. Vida döndükçe ve örgüler, bu kapalı alanlar, vakum pompasının emme ucunda sürekli olarak oluşturulur ve emme odasındaki sıvıyı kapatır. Sıvı daha sonra vidanın eksenel yönü boyunca emme odasından deşarj ucuna sürekli olarak itilir ve her boşlukta bulunan sıvı, tıpkı iplik döndüğünde sürekli olarak ileri itildiği gibi, sürekli olarak boşaltılır. Bu, mikro diyafram pompasının temel çalışma prensibidir.